摘要:针对螺旋波等离子体源放电机理复杂、放电特性不明确的问题,采用射频补偿朗缪尔探针诊断方法,系统研究了氩气、氦气和氮气等工质气体放电特征,以及磁场强度、射频功率和气体压力对氩气放电特性的影响。实验结果表明,氩气在放电强度和离子密度方面表现最优,更适用于电推进系统;磁场是实现感性放电向波耦合模式转换的必要条件;在特定参数下(0.40 Pa、200 G),氩气放电在600 W 功率附近发生H-W模式转换,且在波模式下离子密度能够达到1018 m-3 量级;适当增加放电气体压力,可以提高功率耦合效率,提高放电强度,但当压力增加到一定程度,离子密度增加趋势变缓甚至达到饱和状态。结论表明,螺旋波放电模式转换与外部参数密切相关,该研究为揭示其物理机制及推进器应用提供了实验依据。